真空機(jī)組是由多臺(tái)真空泵及附件組成的成套真空獲得設(shè)備。羅茨真空泵機(jī)組中一般有粗抽泵(預(yù)抽泵)、前級(jí)泵、主抽泵和維持泵。

　　粗抽泵從大氣壓開始降低系統(tǒng)壓力，一直運(yùn)行到另一抽氣泵可以開始工作。前級(jí)泵是用來(lái)維持另一個(gè)真空泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空度，前級(jí)泵也可以作為粗抽泵用。羅茨真空泵機(jī)組對(duì)前級(jí)壓力有要求，需要配前級(jí)泵，以維持其前級(jí)壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開始工作，需要配粗抽泵，達(dá)到預(yù)真空要求才能開始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴(kuò)散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級(jí)泵才能正常工作。

　　主抽泵(主泵)是機(jī)組中抽速大、真空度高的真空泵，是真空機(jī)組獲得高真空度的真空泵。對(duì)于主泵來(lái)說(shuō)，其他泵都可以算作其前級(jí)泵。
　　羅茨真空泵機(jī)組中有時(shí)氣體量很小，不能完全利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級(jí)泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱為維持泵。維持泵的使用主要是從經(jīng)濟(jì)環(huán)保的角度考慮的。
　　羅茨真空泵機(jī)組各組成泵之間取長(zhǎng)補(bǔ)短、相互配合，在抽速和真空度上都比單個(gè)的真空泵有很大提高。根據(jù)需要還可以啟動(dòng)不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。非耀真空泵廠家從使用方便、安.全等多角度出發(fā)，生產(chǎn)的羅茨真空機(jī)組一般都配有真空閥門、充氣閥、波紋管、機(jī)架、冷卻水管路、斷水保護(hù)、真空繼電器、電器控制設(shè)備等。